| Yazarlar |
Zakir Çaldıran
Türkiye |
|
Şakir Aydoğan
Atatürk Üniversitesi, Türkiye |
Doç. Dr. Ali YEŞİLDAĞ
Kafkas Üniversitesi, Türkiye |
|
Duygu Ekinci
Atatürk Üniversitesi, Türkiye |
|
Sinem Kurudirek
Türkiye |
|
Abdulmecit Turut
İstanbul Medeniyet Üniversitesi, Türkiye |
| Makale Türü | Özgün Makale |
| Makale Alt Türü | SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale |
| Dergi Adı | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| Dergi ISSN | 1369-8001 |
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded |
| Makale Dili | İngilizce |
| Basım Tarihi | 06-2015 |
| Cilt No | 34 |
| Sayfalar | 58 / 64 |
| Doi Numarası | 10.1016/j.mssp.2015.02.023 |
| Atıf Sayıları |
